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高周波プラズマCVD装置
固体前駆体導入型CVD装置
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銅合金ファスナー表面変色用 roll-to-roll 室温常圧型CVD装置
連続CNT成膜用スライド型長尺管CVD装置
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レーザーアシストCVD成膜チャンバー
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真空蒸着装置用面直傾斜+面内回転試料ホルダー
粉末試料への金属真空蒸着用試料振動ユニット
高絶縁用シリコーンゴムの真空脱泡・充填・成形装置
バレル研磨メディアの大型自動生産装置
電子電界放出特性評価装置
ガス分析のQ-mass分析装置
電子線ホログラフィー位相計測用超高精度位相解析システム