Glovebox用真空搬送試料ホルダー

∞ MPVAP-VacHolder ∞

真空蒸着装置間に移動する真空密封型試料ホルダー

※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。

目 的 : 水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホルダーです。
特 徴 :
  •  真空チャンバー構造を有する試料ホルダー
  •  コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能
  •  グローブボックス中での真空排気が可能
  •  真空蒸着装置ではチャンバーの蓋が自動解放
  •  オプションで、試料ホルダー回転機構を追加可能

 水分や酸素を嫌う試料を大気に曝されずに試料ホルダーに設置し、その表面に金属膜を真空蒸着したい場合があります。 しかし、従来の真空蒸着装置では、この目的が実現できません。 このような試料は通常は不活性ガスで満たされているグローブボックスの中で保管や取り扱われているため、 別の場所に置かれている真空蒸着装置に試料設置準備ができないからです。

 当社が新規開発した本ホルダーは、真空蒸着装置用の試料ホルダーを単独の真空チャンバー構造に改造し、 不活性雰囲気でのグローブボックスに持ち込んで試料を設置し、そのままホルダーチャンバーを真空引きできるようにしました。 真空状態のホルダーチャンバーをグローブボックスから取り出し、当社の真空蒸着装置MPVAPに移します。 真空蒸着装置のチャンバーを真空排気すると、ホルダーチャンバーの蓋が自動的に開放され、真空蒸着可能な状態になります。 本ホルダーは、弊社真空蒸着装置MPVAPに搭載するように設計されていますが、 お客様の既存の真空蒸着装置の仕様に対応させてカスタマイズすることも可能です。