グローブボックス組込真空蒸着装置
∞ MPVAP-Glovebox ∞
大気に晒さず、水分・酸素を遮断しながらの成膜と試料回収が可能な真空蒸着装置
※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。
| 目 的 : | 水分や酸素に晒さずに、試料に金属を成膜するためのグローブボックス付き真空蒸着装置です。 |
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| 特 徴 : |
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水分や酸素を嫌う試料を大気に曝されずに、その表面に金属膜を真空蒸着して回収したい場合があります。 しかし、従来の真空蒸着装置では、この目的が実現できません。 このような試料は通常は不活性ガスで満たされているグローブボックスの中で保管や取り扱われているため、 大気雰囲気に置かれている真空蒸着装置に試料設置準備ができないからです。
当社は、当社製の真空蒸着装置の周りに、透明アクリル製グローブボックスを取り付け、グローブボックスを介して、試料の設置や回収を可能にした。
お客様のグローブボックスにて窒素封入した試料容器を、本装置の窒素封入したグローブボックスの中に入れ、その後の一連の試料設置・成膜・試料回収作業を行い、窒素封入した試料容器に戻す。
