パワーデバイス向けポーラスSiC
◆ SiC ◆
ナノ構造を有するSiO2出発原料から作製した、ポーラスで不定形のナノ構造を持つSiC材料。
通常の球形SiCに比べ比表面積が大きいため、昇華レートが高くなり、パワーデバイス向けのSiC原料として利用すれば、 生産レートの向上が期待できます。
また、研磨剤や焼結材としても、従来とは異なる性質を示す可能性があります。
ポーラスSiCの光学顕微鏡像
ポーラスSiCの電子顕微鏡像
◆ SiC ◆
ナノ構造を有するSiO2出発原料から作製した、ポーラスで不定形のナノ構造を持つSiC材料。
通常の球形SiCに比べ比表面積が大きいため、昇華レートが高くなり、パワーデバイス向けのSiC原料として利用すれば、 生産レートの向上が期待できます。
また、研磨剤や焼結材としても、従来とは異なる性質を示す可能性があります。
ポーラスSiCの光学顕微鏡像
ポーラスSiCの電子顕微鏡像