セラミック粒子をTiC/TiO2膜で包む
◎ Ceramics/TiC-TiO2 ◎
多くの酸化物粒子、たとえば ZrO2、Al2O3、SiO2、TiO2などには、CVDによって粒子表面に炭素膜を容易にコートすることができます。 なお、コートされた炭素膜は、基本的にアモルファス成分が多いのが特徴です。
一方、アモルファスカーボンにチタンを選択的にドープし、TiC膜に変換する当社独自の技術があります。 セラミック酸化物の粒子表面にCVDでコートされたアモルファスカーボン膜に、チタンを大量にドープすると、炭素膜がTiC膜に変わります。 さらに空気中で燃やすと、TiC膜がTiO2膜になります。
このような2段、3段プロセスを経て、最終的にセラミックス酸化物粒子の表面にTiCあるいはTiO2ナノ膜を形成することができ、 シェル/コア構造の物質を作ることができます。
コア材料とシェル材料との組み合わせによっては、新しい物性や機能が生まれることを期待しています。
