試作/試験/開発実績

 成膜(抜粋)

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 カルコゲナイド(硫化タングステン、モリブデン)層状物質のCVD成膜

 低温グラフェン成膜法の開発

 特殊金属への500℃以下の表面CVDカ-ボンコーティング

 プラズマCVDによる窒素ドープカーボン触媒膜の成膜

 セラミックコンデンサへのSiO2絶縁膜のCVDコーティング

 素材/デバイス(抜粋)

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 ナノ炭素材のアルカリ賦活処理

 ブレーキ材料(セリサイト等)へのナノセラミックス(TiC, WO3)成膜

 コアシェル(Core-shell)型Si系負極材の試作開発

 籾殻からグラフェンを生成するためのプロセス開発

 廃棄木質バイオマスからナノカーボンを生成するためのプロセス開発

 Cuフォイルの両面に成長した垂直配向CNT熱伝導TIMシートの試作

 高分子アクチュエータ用400%伸縮可能なCNTエラストマ電極の試作

 配向CNT柱を用いた半導体検査用プローブゴムシートの開発

 カメラ筐体内部の迷光軽減用CNT低反射シートの試作

 放射温度計校正用高耐久性CNT黒体基板の作製

 大電流用CNT入りCu電極焼結体の試作

 セラミックキャパシターセルの試作

 リチウムイオン電池

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 Si負極材への各種炭化水素ガスによるCVDカーボンコーティングの比較試験

 籾殻からシリコン負極用ナノ構造Siを生成する研究

 正極材へのCNT直接成長実験

 正極材への低温CVDカーボンコート実験

 高耐久性を期するナノSi粒子内包ナノカーボン負極材の試作

 燃料電池

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 SUS/Ti金属セパレータへの高耐食導電カーボンCVD成膜試験

 CNT付ガス拡散層

 ナフィオン電解質膜への配向CNT転写試験

 ナノ白金担持高分散CNTの試作