スライド型長尺管CVD装置

◎　MPCVD-Slide　◎

連続処理による生産量の大幅向上

※実際の商品は写真と一部異なる場合があります。

目　的 :	当社が考案した量産用連続CVD処理方式です。十分長い反応管に処理する試料を縦列に並べて置き、加熱炉を左から右へのスライドさせながら、管内のすべての試料に同一かつ均一なCVD処理を施すことができます。
特　徴 :	長時間にわたる連続処理で量産可能。　上流側と下流側とのCVD成膜斑（膜厚差）がなくなる！　粉末処理の場合でも、クリーンで、処理前後の試料の回収ロスが少ない。　モーター駆動スライドであるため、全自動で、スライド速度が可変できる。